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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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基于红外双光路的薄膜在线测厚系统的研究
曹智颖, 赵斌
2014, 38(2): 196-200. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.02.011
关键词: 测量与计量, 薄膜测厚, 红外, 双光路